Vakuum nasoslarining tozalash usullari asosan quyidagilarni o'z ichiga oladi:
Kasbiy tozalash vositalarini qo'llash: professional tozalash vositalari yordamida umumiy tozalash usuli. Ushbu tozalash vositasi odatda juda korroziy bo'lib, uskunaga zarar etkazmaslik uchun ko'rsatmalarga muvofiq to'g'ri foydalanish kerak.
Solvent tozalash usuli: axloqsizlik yorug'lik bo'lsa, quruq vida vakuum nasoslari uchun, erituvchi tozalashdan foydalanish mumkin. Nasosdagi moddalar bilan kimyoviy munosabatda bo'lmagan va o'ziga xos organik erituvchi yoki maxsus vakuumli nasosni tozalash vositasi kabi axloqsizlikni samarali ravishda o'chirib qo'yadigan halolni tanlang. Nasos bo'shlig'iga erituvchilarni in'ektsiya qiling, suvsiz eritma ichki qismlarni to'liq bog'lab, erituvchi aniq bo'lguncha eritib oling va ushbu jarayonni takrorlang.
Mexanik ravishda tuzalish usuli: Mexanik ravishda pasayish ko'lamni olib tashlash uchun asboblardan foydalanishga tayanadi. Odatda vakuum pompasini qismlarga ajratish kerak va uni rejalashtirilgan o'chirish va kapital ta'mirlash bilan bir vaqtda qilish yaxshidir.
Kimyoviy tozalash usuli: Vakuum nasosiga kimyoviy quyish vositasini qo'shish orqali, u va shkalasi orasidagi kimyoviy reaktsiya, o'stirish maqsadlariga erishish uchun ishlatiladi. Ishlatishdan oldin sinov uchun o'lchovlar namunalarini olish va tegishli tarkibiy qismlarga asoslangan tegishli defaling agentini tanlash kerak.
